マウンターHMS-400P|高加圧対応ウェハ貼付装置

マウンターHMS-400P|高加圧対応ウェハ貼付装置

マウンターHMS-400Pの製品概要

マウンターHMS-400P外観

薄基板をセラミックや石英など支持基板(貼り付け板)にワックス接着させるための貼り付け装置です。

貼り合わせ時に真空脱泡を行い、貼り合わせ圧力は上蓋部の空気圧送によるダイヤフラム方式(エアバック)で貼り付けを行います。 冷却は間接水冷却にて昇降温時間のコントロールが可能です。

また、貼付時の加圧力が大きくなるため、高加圧対応となっております。

マウンターHMS-400P主要仕様

マウンターHMS-400P外観
マウンターHMS-400P主要仕様
モデル名 HMS-400P
対象支持基板 Ø249mm×t15mm
プレート温度設定範囲 常温~200℃
対象ワーク -
貼付方法/剥離方法 1軸、ワーク真空吸着
加圧 エアー加圧
(ダイヤフラムエアバック方式)
真空方法 バキュームポンプ(外置き)
冷却方法 冷却水(間接水冷)
操作パネル -
制御方式 シーケンサー制御および温度調節ブロック
本体寸法 W600xD1000xH1750mm
本体重量 約700kg
その他 -

※本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがあります。発注の際には、確認くださいますようお願いいたします。

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