周辺機器｜ラップ研磨、ポリッシュ研磨で使用する周辺機器の案内
マウンター・ディマウンター
ラップ加工、ポリッシュ加工で使用するワーク貼付装置、剥離装置です
- マウンターHIT-MS250P｜卓上型ウェハ貼付装置
- マウンターHMS-400P｜高加圧対応ウェハ貼付装置
- ディマウンターHIT-DMS｜極薄ウェハ用剥離装置
スラリー供給装置
砥粒を分散させ、均等に排出させるための、スラリー供給装置を案内します。
- スラリー供給装置NDR-07-TB｜気泡混入式砥粒供給ユニット
チラー
加工で必須となるチラーの一例を案内します。
- チラーHIT-1W-H3-5｜水冷式温調装置
※詳細につきましては、問合せフォームにてお問合せください