マウンターHMS-400P｜高加圧対応ウェハ貼付装置
マウンターHMS-400Pの製品概要
薄基板をセラミックや石英など支持基板（貼り付け板）にワックス接着させるための貼り付け装置です。
貼り合わせ時に真空脱泡を行い、貼り合わせ圧力は上蓋部の空気圧送によるダイヤフラム方式（エアバック）で貼り付けを行います。 冷却は間接水冷却にて昇降温時間のコントロールが可能です。
また、貼付時の加圧力が大きくなるため、高加圧対応となっております。
マウンターHMS-400P主要仕様
| モデル名 | HMS-400P |
|---|---|
| 対象支持基板 | Ø249mm×t15mm |
| プレート温度設定範囲 | 常温～200℃ |
| 対象ワーク | - |
| 貼付方法/剥離方法 | 1軸、ワーク真空吸着 |
| 加圧 | エアー加圧 （ダイヤフラムエアバック方式） |
| 真空方法 | バキュームポンプ（外置き） |
| 冷却方法 | 冷却水（間接水冷） |
| 操作パネル | - |
| 制御方式 | シーケンサー制御および温度調節ブロック |
| 本体寸法 | W600xD1000xH1750mm |
| 本体重量 | 約700kg |
| その他 | - |
※本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがあります。発注の際には、確認くださいますようお願いいたします。
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